氣密性影響試驗
按被試傳感器型式的不同,使用下列方法之一進行氣密性影響試驗:
a)絕壓和密封參考壓力傳感器
將被試傳感器置于真空箱內(nèi),接上測試記錄儀器。當(dāng)真空度達到規(guī)定值并保持恒定時,記下傳感器的零點輸出。在此狀態(tài)下,保持規(guī)定時間,再記下零點輸出,其零點輸出變化所引起的誤差應(yīng)符合傳感器詳細規(guī)范規(guī)定的要求。
b)單向和雙向差壓傳感器:
將傳感器的“高”、“低"壓兩端并接與標準氣壓表相連組合后再通過一個真空閥門與真空泵連接組成系統(tǒng),并將整個系統(tǒng)抽空到規(guī)定的壓力值,關(guān)閉真空閥門切斷真空源。在規(guī)定的時間內(nèi),觀察標準氣壓表壓力示值,其變化量應(yīng)不超過規(guī)定值(Pa),亦可將真空泵和真空閥換成一正壓力源,向傳感器“高”、“低”壓腔加壓至規(guī)定值,并將傳感器侵入液體介質(zhì)(如水)中,在規(guī)定的時間內(nèi)不應(yīng)有可見的氣泡逸出。
c) 真空氮質(zhì)譜檢漏:
將傳感器感壓腔室與氮質(zhì)譜檢漏儀檢測口相連,直接檢測傳感器感壓腔的泄漏率,其值應(yīng)符合傳感器詳細規(guī)范規(guī)定的要求
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